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真空燒結(jié)爐是在真空環(huán)境中對被加熱物品進行維護性燒結(jié)的爐子，其加熱方法比較多，如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。真空感應(yīng)爐是使用感應(yīng)加熱對被加熱物品進行維護性燒結(jié)的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，能夠歸屬于真空燒結(jié)爐的子類。真空感應(yīng)燒結(jié)爐是在真空或維護氣氛條件下，使用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末限制體完成燒結(jié)的成套設(shè)備，是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計的。

待抽真空到表為-0.1MPa時，先封閉左注氣閥銜接的銅球閥，再封閉機械泵銅球閥，最終封閉真空泵電源。

規(guī)劃升降溫曲線，升溫速率不得高于10℃/分鐘，降溫速率應(yīng)低于15℃/分鐘。

凡處理的工件及工裝或料筐等必須清洗潔凈，并枯燥后方可入爐。未經(jīng)清洗或帶有水跡的工件不得進入爐內(nèi)。

真空爐處理鈦合金，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反應(yīng)，形成了金黃色氮化鈦。

在真空熱處理設(shè)備這個類別當(dāng)中，真空淬火爐是運用較為廣泛和具有代表性的典型設(shè)備

參照圖紙供給的真空爐平面布置、裝置位置和土建條件，選好設(shè)備裝置地址并進行土建施工。裝置地址應(yīng)無煙塵污染，環(huán)境清潔，空氣干燥，不應(yīng)與其他設(shè)備等放在一起，堅持室溫10-35℃，地面平整光亮。